学术报告：MEMS technology, manufacturing and sensors

时间：2019年4月25日 星期四 上午10:00-11:00

地点：信息学院N5楼215

会议邀请人：陶继方 教授 / 陈杰智 教授

报告摘要：

MEMS技术一个显著的特点是工艺具有高度的选择性，基于工艺的选择性，已经发展出一系列MEMS制造技术，使得MEMS传感器的性价比大幅度提高，在手机、汽车、医疗和消费领域得到广泛应用。同样，基于MEMS的工艺选择性，也可以发展出纳米制造技术。我们将介绍基于MEMS的微纳制造新方法，回顾作者利用建立的制造方法研制的超高灵敏微纳传感器及其应用。

报告人简介：

李铁，博士，博士导师，中国科学院上海微系统与信息技术研究所特聘研究员，微系统技术国家重点实验室副主任，军委科技委主题专家，上海市优秀学术带头人。1992、1997年在中国科学技术大学分获学士、博士学位。目前研究领域为微纳传感器机理、器件及应用基础研究。承担国家重点研发计划课题、国家973、国防973、863、国家重大科技专项课题、国家创新研究群体科学基金、国家自然科学基金、中科院项目等国家省部级项目30余项。现任上海市传感技术学会副理事长、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国电子学会敏感技术分会气湿敏传感技术专业委员会委员、MARSS、APCOT国际会议督导委员会委员、IEEE MEMS、DTIP国际会议TPC成员等职。在硅纳米线制造及器件、纳米效应表征、红外热电堆及红外气体模块应用等方面开展了系统研究工作。已在Nano Letters、Small、Carbon、IEEE EDL、IEEE MEMS等刊物上发表论文170余篇，被包括Nano Letters、ACS Nano、Advanced Functional Materials、Small等杂志上的SCI-E论文他引600余次，获美国专利1项，中国发明专利50项。获国家技术发明二等奖、上海市技术发明二等奖、上海市科技进步二等奖、美国汽车电子学会（SAE）Arch T. Colwell Merit 奖。被评为“中科院优秀研究生导师”，指导的博士生获得“中国科学院院长特别奖”和中科院百篇优秀博士论文。