6月26日下午，华中科技大学机械科学与工程学院刘世元教授在信息学院作了题为“宽光谱穆勒矩阵椭偏仪开发及其在纳米结构测量中的应用”的学术报告，本次报告由信息学院连洁教授主持，学院部分师生聆听了报告。
连洁教授首先简单介绍了刘世元教授的科研经历，以及与信息学院在科研方面的合作基础。报告中，刘世元教授首先介绍穆勒矩阵椭偏仪的原理及其仪器实现，重点介绍课题组自主开发的基于双旋转补偿器的宽光谱穆勒矩阵椭偏仪。接下来介绍穆勒矩阵椭偏仪在纳米结构测量中的数据分析方法，提出并探讨计算测量的基本概念、基础问题及求解策略。最后给出穆勒矩阵椭偏仪在纳米结构测量中的若干应用示例，包括30nm电子束光刻样件、具有自然粗糙度形貌的光刻胶样本、存在残胶不均匀的纳米压印样件符等，表明穆勒矩阵椭偏仪特别适合于纳米制造过程的非破坏性、在线、精确测量。
报告结束后，刘世元教授耐心回答了现场师生的提问，整个学术报告现场气氛热烈融洽，刘世元教授的精彩演讲得到了同学们和老师的热烈欢迎，其报告对于研究生阶段的学习和研究具有重要的指导意义。